Halbleiter-Pumpen

Auch hier werden die IWAKI Pumpen weltweit geschätzt und eingesetzt. Das Angebot umfasst Balgenpumpen, Pulsationsdämpfer sowie Dosierpumpen. Wet-Bench Prozesse, Resist-Saving Dispensing Systeme, Slurry Anwendungen sowie das Spiking sind die Einsatzgebiete für IWAKI's Spezialisten.

Halbleiter-Pumpen Merkmale

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Serie Max. Förderleistung Max. Förderdruck (bar) Max. Hubfrequenz (spm)
FS
FS
100 l/min 5 240
FW/-H
FW/-H
80 l/min 4.5 120
FA
FA
40 l/min 4.5 150
CFD
CFD
240 ml/min 0.5 30