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Serie FA
Pneumatisch betriebene Balgpumpen
Kontaminationsfreie Konstruktion
Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission. Antriebs-Sensor-System
Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schließt das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben. Für das Single-Wafer-Processing steht Ihnen die FA-2E, einer "Seitenversion" für kleine Fördermengen, mit einem Sprühsystem ausgestattet zur Verfügung. Mit der FA-40VEW, einer vertikalen Ausführung für große Fördermengen, können 200/300 mm Wafer gereinigt werden. Exzellente Beständigkeit gegen hohe Drücke bieten die dicke Balgen in H-Form (FA-40VEW) und garantieren eine lange Lebensdauer bei kontinuierlichem Betrieb. Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.
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| Spezifikationen (50 Hz) |
| Max. Förderleistung |
2.400 l/h |
| Max. Förderdruck |
4 bar |
| Max. Hubfrequenz |
150 spm |
| Hauptmaterialien |
PTFE / PFA |
| Temperaturbereich |
5 bis 100°C |
Weitere Infos zum Download
 FA/-H (pdf, 1.767 kB)
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